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GlobalFoundries推进MEMS晶圆量产

新浪科技讯10月15日消息,GlobalFoundries200mm晶圆奇迹部高档副总裁Raj-Kumar本日在上海走漏,GlobalFoundries的MEMS晶圆量产能力今朝在2000-3000片/月,而跟着技巧的改进和工艺设置设备摆设的改革,未来2-3年月产能有望增添2倍。

Raj-Kumar是今日在出席举世技巧论坛(GTC)时向媒体做上述表示的。

他表示比拟其他半导体技巧,MEMS行业不是那么统一和规范,是以GlobalFoundries的一个目标便是努力推进MEMS的标准化。

他同时否认了GlobalFoundries将为MEMS新建临盆线的说法,而是改进现有200mm晶圆临盆线。“MEMS和200mm晶圆临盆线在前端设备方面是一样的,但在后端必要加上相关专属设备,是以GlobalFoundries不会再新建临盆线。”他表示。

微机电系统(MEMS)是半导体市场成场最快的区块之一,GlobalFoundries在MEMS方面的研发将着重于加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。

而在2天前(10月13日),GlobalFoundries发布与SVTC技巧公司结成计谋同盟,SVTC将帮忙GlobalFoundries应用全系列的先辈CMOS与MEMS设备,为顾客开拓硅晶圆办理规划,同时为GlobalFoundries工程师供给MEMS技巧研发支持及培训。

Raj-Kumar同时走漏GlobalFoundries盼望经由过程当下的系列步伐,到2015年景为大年夜型MEMS晶圆代工厂。(王霄 发自上海)

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